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ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料,無需中斷和更換燃料盒,因此持續(xù)運行時間極長。 ISTEQ公司為LPP光源開發(fā)的燃料是針對特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計的。然而,對于掩模檢查的應(yīng)用,公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶,已在全球范圍內(nèi)獲得專li。荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
鹵鎢燈是一種從可見光到近紅外光的常規(guī)光源,又稱為鎢鹵燈泡、石英燈泡,是白熾燈的一個變種。原理是在燈泡內(nèi)注入碘或溴等鹵素氣體,在高溫下,升華的鎢絲與鹵素進(jìn)行化學(xué)作用,冷卻后的鎢會重新凝固在鎢絲上,形成平衡的循環(huán),避免鎢絲過早斷裂。 鹵鎢燈光纖光源 5W
Optomeitircs的TLS系列可調(diào)諧光源使用20W氙燈和單色儀組成,提供300-1000nm的光輸出,通過手動或者軟件調(diào)節(jié)得到需要的輸出波長,使用方便??蛇x準(zhǔn)直輸出也可選光纖耦合輸出。
鹵鎢燈光纖光源 20W是一種從可見光到近紅外光的常規(guī)光源,又稱為鎢鹵燈泡、石英燈泡,是白熾燈的一個變種。原理是在燈泡內(nèi)注入碘或溴等鹵素氣體,在高溫下,升華的鎢絲與鹵素進(jìn)行化學(xué)作用,冷卻后的鎢會重新凝固在鎢絲上,形成平衡的循環(huán),避免鎢絲過早斷裂。因此鹵素?zé)襞荼劝谉霟舾L壽。具有非常穩(wěn)定和平滑的光譜,可以應(yīng)用于光譜測量顏色測量。主要的光譜從300nm到2500nm。
高穩(wěn)定鹵素?zé)?30W是一個300-2600nm的緊湊型高穩(wěn)定鹵素?zé)?,?yōu)化設(shè)計使得Z的功率應(yīng)用于CM和DK系列單色儀,3100°K色溫下可工作400小時。
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